SolidSpec-3700i/3700i DUV
УФ-ВИД-БлИК спектрофотометры для исследования оптических материалов, полупроводников и т.д.
Спектрофотометры серии SolidSpec отличает высокая чувствительность, возможность проведения измерений в широком спектральном диапазоне (от глубокого УФ до ближнего ИК-диапазона) и большое кюветное отделение. Все это позволяет использовать приборы при оценке характеристик изделий из стекла, полупроводниковых материалов, панелей солнечных батарей и плоскопанельных мониторов. Другое распространенное использование SolidSpec-3700i/3700i DUV — это анализ запрещенной зоны, оценка характеристик покрытия и оптических компонентов.
Управление спектрофотометрами SolidSpec-3700i/3700i DUV обеспечивает программное обеспечение LabSolutions UV-Vis. (Предыдущие модели SolidSpec-3700/3700 DUV упавлялись ПО UVProbe).
ПО LabSolutions UV-Vis помимо функций измерения и анализа даёт возможность оценить результаты измерения по критерию соответствия/несоответствия. Простой экспорт данных в текстовый или табличный формат повышает эффективность работы.
Дополнительное ПО для всех спектрофотометров:
- ПО для расчета фактора защиты от УФ излучения (UPF) и для измерения пропускания солнечного света
- ПО для измерения цветности
- ПО для измерения толщины пленок
Особенности SolidSpec-3700i/3700i DUV
В обычных спектрофотометрах фотоэлектронный умножитель, используемый в качестве детектора для ультрафиолетовой и видимой области, и PbS детектор для измерений в ближнем ИК-диапазоне не могут обеспечить высокую чувствительность на границе ближнего ИК и видимого диапазонов. SolidSpec-3700i/3700i DUV успешно решает данную проблему.
Это первые спектрофотометры для УФ-видимого и ближнего ИК-диапазона с тремя детекторами: ФЭУ + полупроводниковые на основе InGaAs и PbS. Полупроводниковые детекторы обеспечивает чрезвычайно высокую чувствительность на границе ближней ИК-области и видимого диапазона. Низкие значения шума при работе с малопрозрачными образцами делают данный спектрофотометр незаменимым. Эта особенность неоценима при исследовании плохо отражающих образцов, например, оптических волоконных материалов.
Измерения в вакуумном УФ
Спектрофотометр SolidSpec-3700i DUV работает в вакуумном УФ от 165 нм (от 175 нм с интегрирующей сферой) с очень низкими значениями рассеянного света. Оптический блок и кюветное отделение продуваются азотом с целью удаления кислорода, поглощающего в области ниже 190 нм. Спектральный диапазон для измерений с использованием интегрирующей сферы — от 175 нм до 2600 нм.
Дополнительный модуль для прямого измерения в ультрафиолете (Direct detection unit DUV) позволяет расширить данный диапазон от 165 до 3300 нм и проводить измерения без использования интегрирующей сферы.
Работа с большими образцами
Большое отделение для образцов (900мм x 700мм x 350мм) позволяет удобно разместить образцы максимальной величины 700мм х 560 мм х 40 мм. Вертикальное расположение оптического пучка позволяет проводить измерения образцов, расположенных горизонтально. Возможно измерение по всей поверхности образца площадью 310 х 310 мм2. Автоматическая система перемещения образца позволяет проводить измерения в предварительно заданной точке образца с одновременной продувкой азотом. Достаточное количество необходимых приставок, таких как приставка нарушенного полного внутреннего отражения (НПВО) и др. значительно расширяют области применения данного спектрофотометра.
Приставки и аксессуары (опция)
- Блок детектирования DDU-DUV (для анализа твердых и жидких проб)
- Устройство прецизионной подвижки, может смещаться по X-Y (для автоматизации измерений)
- Приставка для измерения зеркального отражения
- Блок для очистки азота
- Приставка абсолютного зеркального отражения с возможностью измерения при разных углах (5⁰, 12⁰, 30⁰, 45⁰)
- Интегрирующая сфера
- Автосамплеры ASX для спектрофотометров
Применение
Исследование покрытий:
Высокочувствительные измерения от вакуумного УФ до ближнего ИК-диапазона, большое кюветное отделение для исследования изменений свойств покрытий
Полупроводники:
Анализ поверхности полупроводников
Оптические материалы:
Высокочувствительное измерение антиотражающих покрытий в ближнем ИК-диапазоне
Оптика:
Высокочувствительные измерения от вакуумного УФ до ближнего ИК-диапазона, большое кюветное отделение
Технические характеристики спектрофотометров
SolidSpec-3700i/3700i DUV
Спектральный диапазон | SolidSpec-3700i: стандартные модели 240–2600 нм; с использованием приставки для прямого детектирования 190–3300 нм. SolidSpec-3700i DUV: модели для измерения в глубоком УФ 175–2600 нм; с использованием приставки для прямого детектирования 165–3300 нм. |
|
---|---|---|
Спектральная ширина щели | 8-ступенчатая: 0,1; 0,2; 0,5; 1; 2; 3; 5; 8 нм в УФ/видимой области 10-ступенчатая: 0,2; 0,5; 1; 2; 3; 5; 8; 12; 20; 32 нм в ближней ИК области |
|
Разрешение(*) | 0,1 нм | |
Шаг по длине волны | от 0,01 до 5 нм | |
Точность отображения длины волны | шаг 0,01 нм | |
Погрешность установки длины волны(*) | ± 0,2 нм в УФ / видимой области ± 0,8 нм в ближней ИК области |
|
Воспроизводимость длины волны(*) | ± 0,08 нм в УФ/видимой области ± 0,32 нм в ближней ИК области |
|
Скорость сканирования длины волны | Максимально 3600 нм/ в минуту для ФЭУ и InGaAs-детектора Максимально 1600 нм/ в минуту для PbS-детектора |
|
Переключение ламп | Автоматическое переключение (можно выбрать в интервале между 282 и 393 нм с шагом 0,1 нм) | |
Уровень рассеянного излучения(*) | < 0,00008% (220 нм, NaI) < 0,00005% (340 нм, NaNO2) < 0,0005% (1420 нм, H2O) < 0,005% (2365 нм, CHCl3) |
|
Уровень шума | 0,0002 Abs или менее (500 нм) 0,00005 Abs или менее (1500 нм), щель 8 нм, пост. времени 1 с |
|
Колебания базовой линии | ± 0,003 Abs (от 240 до 350 нм), ± 0,002 Abs (от 350 до 1600 нм), ± 0,004 Abs (от 1600 до 2600 нм), ± 0,001 Abs (от 200 до 3000 нм) при использовании DDU |
|
Дрейф | SolidSpec-3700i 0,0002 Abs/час (после 2 часов прогрева прибора, 500 нм, постоянная времени 1с) SolidSpec-3700i DUV 0,0003 Abs/час (после 2 часов прогрева прибора, 500 нм, постоянная времени 1с) |
|
Источники света | 50 Вт галогенная лампа (2000 часов работы) Дейтериевая лампа (1250 часов работы) Встроенное автоматическое позиционирование ламп. |
|
Монохроматор | Двойной монохроматор с дифракционными решетками | |
Детекторы | УФ/видимая область: ФЭУ (типа R928 для SolidSpec-3700i, R955 для SolidSpec-3700i DUV) Ближняя ИК область: InGaAs фотодиод и охлаждаемый PbS |
|
Фотометрический диапазон | от –6 до 6 Abs | |
Оптическая схема | Двухлучевая | |
Размеры, масса | 1000 x 800 x 1200 мм (Ш х Г х В), 170 кг |
(* измерения проводили с использованием Дополнительного модуля для прямого измерения в ультрафиолете DDU-DUV)
Спектрофотометры «UV-i Selection»